超声波节能光刻胶高精度喷涂设备怎么样

2020-10-08 16:53:32
  超声波节能光刻胶高精度喷涂设备这款涂装设备对于很多客户来说都是很陌生的,因此,产品的性能如何是他们关注的重点,下面,扬州市荣金涂装环保设备有限公司就为我们详细介绍了这款产品,来一起看看吧。

  光刻胶又称光致抗蚀剂,是由感光树脂、增感剂和溶剂等组成的光灵敏混合液体。它在集成电路、太阳能光伏、微机电系统等领域运用广泛。

  高均匀性的光刻胶薄膜多选用旋转涂胶工艺。运用旋转涂胶工艺所取得的光刻胶薄膜终究厚度是由光刻胶的粘度、表面张力和转盘的旋转角速度等要素抉择,绝大多数的光刻胶因旋转涂胶时的离心力被甩离晶圆表面,构成糟蹋现象,故光刻胶运用率极低。

  针对光刻胶涂覆工艺(旋转涂胶工艺)的糟蹋和环境污染问题,研发的120KHZ的超声波雾化喷涂设备的基础上,对光刻胶喷涂工艺进行改进。

  超声波雾化喷涂设备电源功耗(10W)低,发生的雾化液滴平均粒径小、均匀性好,液滴直接喷涂在晶圆表面上的光刻胶运用率高,因而它被认为是一种绿色的光刻胶薄膜制备工艺。而一般超声波雾化喷涂设备表面的雾化液滴初始速度小,易于遭到周围空气的扰动,不利于取得高质量的光刻胶薄膜,难以完结抱负的喷涂效果。

  为此,超声波雾化喷涂设备中参加载气模块增加雾化液滴的动力,控制雾化喷涂方向和规划,完结光刻胶薄膜的定向喷涂于基底的晶圆表面。

  通过扬州市荣金涂装环保设备有限公司给出的详细介绍,我们能看到,这款涂装设备确实有着很强大的功能,如果您想要采购的话,欢迎随时来电咨询本公司,本公司将为您带来物美价廉的产品,让您满意。